被称为“光刻机第一股”的北京华卓精科在上周五（9月17日）于科创板成功过会。

《01财经》转载《中国基金报》9月21日报道，华卓精科有国家大基金入股，公司实控人为清华大学教授。

据悉，7月29日上会暂缓之后，华卓精科终于在上周五通过上会。此前上市委现场询问了有关其光刻机双工件台的产业化前景、其技术研发是否依赖清华大学、以及2019年和2020年第四季度的大额销售收入等事项。

该公司为中国首家，也是世界唯二可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。

值得一提的是，联席主承销商中金公司是华卓精科的第八大股东，持股比例为3.06%。2019年3月，国家大基金一期子基金上海半导体装备材料基金出资4,200万元人民币参与了华卓精科的增资，现持有其2.08%的股权。

据悉，华卓精科的实控人是公司董事、核心技术人员、首席科学家朱煜，同时也是清华大学教授。

根据介绍，朱煜为公司董事、核心技术人员、首席科学家，直接持有公司8,573.29 万股股份，占公司总股数的35.72%。朱煜为艾西科技和艾西博鋭的普通合伙人、执行事务合伙人，艾西科技持有公司 5.19%股份，艾西博鋭持有公司0.26%股份。另外，徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣7名股东，合计持有13.06%的公司股份，与朱煜保持一致行动关系。综上，朱煜实际控制的股份比例合计为54.23%。朱煜为公司的控股股东、实际控制人，且报告期內朱煜实际控制人地位未发生变更。

据介绍，华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国內领先的集成电路製造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商，致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。

国盛证券7月发布的研报表示，光刻机市场一直以来在全球设备市场中的比重都较高，具有较高技术难度，并且单台设备价值量也较高，属于半导体制造设备的“皇冠”。

西南证券研报梳理光刻机产业链各环节，具体如下：



方正证券研报梳理国产光刻机产业链，具体如下：



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